结构特点 功能特性
•适用于高洁净场合 •流量：Cv=0.16
•有手动和气动两种形式可选 •最大泄漏率
•阀门接口形式有：GENLOK卡套式接头，NPT 螺纹接
头，FSR 接头，对焊管接头 •母体泄漏率：1x10-9 atm cc/sec He
•清洁符合 ASTM G93C标准，依 CGA G-4.1脱脂处理 •阀座泄漏率：4x10-9 atm cc/sec He
•膜片式硬密封，泄漏率抵 •设计验证：最大工作压力的 150%
•使用寿命长 •设计爆破：最大工作压力的 400%
•100% 氮气测试
工作条件 材质
•最大工作压力：3500 psi(240 bar) •母体：316L
•工作温度：40°C ~ 65°C(-40°F ~ 150°F ) •阀座：PCTFE, Vespel®
•CV：0.17 •膜片：Elgiloy®
•光洁度(BA)：15 ~ 20µin
气动执行器 表面加工
•操作压力：70~125psi •标准Ra(Ep)15~20 µin
•入口连接：1/8” NPT(F) 内部容积
•工作状态：常闭、常开 •0.8 cc
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